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多晶硅納米薄膜E+E壓力傳感器設(shè)計 半導(dǎo)體E+E壓力傳感器在現(xiàn)代社會中具有廣泛的應(yīng)用,采用新材料是提高傳感器性能的有效途徑。研究結(jié)果表明多晶硅納米薄膜（PSNF）具有比普通多晶硅薄膜更為*的壓阻特性。為使這種薄膜在傳感器上得到有效應(yīng)用,對已有半導(dǎo)體傳感器設(shè)計進行系統(tǒng)研究,充分利用材料的壓阻特性,給出了PSNFE+E壓力傳感器設(shè)計方法,采用常規(guī)工藝制作了傳感器芯片,測試結(jié)果表明達到設(shè)計目標(biāo)。

煤礦支護墻監(jiān)測的光纖光柵E+E壓力傳感器研究 煤礦巷道填充墻對頂板的支護是確保煤礦正常作業(yè)的重要措施之一,因而利用E+E壓力傳感器對支護墻所承受壓力的監(jiān)測顯得尤為重要。傳統(tǒng)的礦壓觀測儀多為機械式、液壓式或其它電測式,需要在測量現(xiàn)場配備電源,同時具有數(shù)據(jù)不能遠(yuǎn)距離傳輸?shù)热秉c。

E+E壓力傳感器的溫度特性及其校驗系統(tǒng) E+E壓力傳感器性能易受溫度變化的影響,從而增加了測量結(jié)果的誤差。設(shè)計了一種變溫E+E壓力傳感器校驗系統(tǒng),能夠在-80℃（環(huán)境溫度、0-0.8MPa壓力范圍內(nèi)對E+E壓力傳感器進行校驗。

E+E微壓力傳感器的設(shè)計與制作工藝研究 E+E微壓力傳感器是在微機電系統(tǒng)領(lǐng)域Z早開始研究并且產(chǎn)業(yè)化的微機電器件之一,微機電系統(tǒng)以微加工工藝為重點研究內(nèi)容。主要對E+E微壓力傳感器的相關(guān)部分進行設(shè)計,并在研究相關(guān)微加工工藝的基礎(chǔ)上制作了一種驗證性的壓阻式E+E微壓力傳感器。

薄膜的制備及超高壓E+E壓力傳感器的研制 柴油機電控高壓共軌噴射系統(tǒng)由電控系統(tǒng)和燃油供給系統(tǒng)兩部分組成,電控系統(tǒng)由傳感器、電子控制單元（ECU）和執(zhí)行機構(gòu)三部分組成。傳感器是共軌系統(tǒng)核心組成部分之一,而軌壓傳感器又是眾多傳感器中的核心傳感器。

高溫E+E壓力傳感器設(shè)計與工藝實驗研究 高溫惡劣條件下的壓力測量正逐步受到人們的重視。是Z有希望應(yīng)用于這方面的第三代寬禁帶半導(dǎo)體材料。它具有耐高溫、耐壓高和抗輻射的特點，特別適用于制作高溫E+E壓力傳感器。國外已經(jīng)有眾多團隊展開了研究，制作了光學(xué)式、電容式和壓阻式的SiCE+E壓力傳感器。

SIMOX高溫E+E壓力傳感器的技術(shù)研究 高溫E+E壓力傳感器是指其工作溫度高于125℃的E+E壓力傳感器。高溫E+E壓力傳感器以其優(yōu)良的高溫工作能力在E+E壓力傳感器中一直受到高度重視，是傳感器研究 的重要領(lǐng)域之一，也是各國政府所努力掌握的高技術(shù)之一。

真空微電子E+E壓力傳感器陣列集成系統(tǒng) 真空微電子E+E壓力傳感器是一種新型的E+E壓力傳感器，具有靈敏度高、溫度穩(wěn) 定性好、體積小、抗輻射、制備過程與匯工藝相兼容等優(yōu)點，在航空航天、汽車、機器人等領(lǐng)域有著很好的應(yīng)用前景。提出并研制了一種能測量壓力分布的真空微電子E+E壓力傳感器陣列與薄膜鉑電阻溫度傳感器的集成系統(tǒng)。

聚酰亞胺金屬圖形化的柔性E+E壓力傳感器研究 近幾年柔性電子器件快速發(fā)展,在顯示屏,機器人技術(shù)和醫(yī)學(xué)治療等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。聚合物是柔性器件的重要組成部分,不僅提供柔性支撐,更是一種功能性材料,可以產(chǎn)生、轉(zhuǎn)移并處理機械、電等信號。以聚酰亞胺薄膜（PI）為基礎(chǔ)材料,研究了通過離子交換在其表面實現(xiàn)金屬圖形化的工藝,并基于該工藝,在柔性PI上制作了壓力三種傳感器,測試傳感器的性能。

深海環(huán)境下活塞式壓力平衡裝置及E+E壓力傳感器 對于深海壓力探測,必須既能承受和測量深海大壓力,又能測量微小的壓力變化,這是海洋E+E壓力傳感器所面臨的大測量范圍與高靈敏度之間的難題。針對這一問題做了以下研究。E+E壓力傳感器性能易受溫度變化的影響,從而增加了測量結(jié)果的誤差。

熱激勵氮化硅諧振梁E+E壓力傳感器研究 諧振器件通過檢測振動元件的諧振頻率或振幅的變化來測量應(yīng)變、應(yīng)力、加速度、壓力、質(zhì)量變化以及流量等，廣泛應(yīng)用于力學(xué)量傳感器中。機械諧振式傳感器精度高、信號以及頻率輸出適于計算機信息處理，而且其信號輸出取決于機械參數(shù)，抗電干擾能力強，穩(wěn)定性好。

機動車E+E壓力傳感器自動測試臺控制系統(tǒng) 闡述了以工業(yè)控制計算機為核心、采用PCI總線微機插卡的設(shè)計方法、對機動車用集成相對E+E壓力傳感器MLX90807和集成E+E壓力傳感器MLX90808進行自動測量，并對其進行調(diào)理補償?shù)淖詣訙y試系統(tǒng)的硬件設(shè)計、單片機固件程序設(shè)計和PCI總線驅(qū)動程序的設(shè)計。

多鐵納米纖維的E+E壓力傳感器研究 壓電式E+E壓力傳感器是MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）器件中應(yīng)用廣泛的一類,其敏感材料多為塊體和薄膜。與塊體和薄膜相比,懸空的多鐵納米復(fù)合纖維具有很大的長徑比,可以將由壓電效應(yīng)引起的位移放大,從而有可能提高傳感器性能。

新型微納結(jié)構(gòu)的柔性E+E壓力傳感器 隨著信息社會的發(fā)展,物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的不斷進步,人們對周邊環(huán)境信息的采集深度與廣度不斷提升,柔性E+E壓力傳感器作為一類十分重要的信息采集器件得到越來越廣泛的應(yīng)用,使用數(shù)量已非?？捎^。

擴散硅E+E壓力傳感器的有限元模擬與研究 隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的高速發(fā)展,汽車電子化、智能化的程度越來越高,傳感器作為汽車控制系統(tǒng)的關(guān)鍵器件,其使用數(shù)量和技術(shù)水平?jīng)Q定了汽車控制系統(tǒng)的性能。主要研究了一種擴散硅E+E壓力傳感器,該傳感器以硅薄膜為彈性膜,利用光刻、掩膜、濺射等微加工工藝和隔離封裝方法制成。

高溫高精度E+E壓力傳感器的數(shù)據(jù)融合技術(shù)研究 基于主要研究高溫高精度E+E壓力傳感器敏感元件的材料及其設(shè)計過程和制造工藝；溫度傳感器的NTC電阻器的制造方法及其工藝過程；USB數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的設(shè)計；數(shù)據(jù)融合算法的研究和系統(tǒng)上位機界面軟件設(shè)計。

雙量程E+E壓力傳感器的動態(tài)特性研究 大推力比固體火箭發(fā)動機在航空航天領(lǐng)域應(yīng)用比較廣泛,其推力的測量是試驗研究工作中一項非常重要的內(nèi)容,為發(fā)動機的性能分析提供原始參數(shù),為調(diào)整裝藥參數(shù)和改進推進劑使之全面滿足設(shè)計要求提供了依據(jù)。準(zhǔn)確測量大推力比固體火箭發(fā)動機的推力參數(shù)是研制火箭發(fā)動機成敗的關(guān)鍵。

電熱激勵揩振式硅微梁E+E壓力傳感器特性研究 微結(jié)構(gòu)諧振式E+E壓力傳感器是一種用頻率變化來反映外界壓力變化的傳感器件，因其尺寸小、精度高、易于與數(shù)字設(shè)備接口而具有廣闊的應(yīng)用前景。對電熱激勵諧振式硅微梁E+E壓力傳感器的開環(huán)／閉環(huán)特性、測試方法及便攜式壓力測試儀的設(shè)計和研制進行了深入研究。

基于倒裝技術(shù)的MEMS電容式E+E壓力傳感器研究 MEMSE+E壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、醫(yī)療衛(wèi)生、環(huán)境監(jiān)測以及科學(xué)研究等眾多領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。電容式E+E壓力傳感器是MEMSE+E壓力傳感器的一種主要類型,其根本原理是將壓力變化值轉(zhuǎn)換為電容的變化。

硅微諧振試E+E壓力傳感器設(shè)計與制作 硅微諧振式E+E壓力傳感器是Z近剛發(fā)展起來的具有靈敏度高、性能穩(wěn)定、體積小、功耗低等優(yōu)點的新型傳感器件,其輸出的頻率信號可直接與數(shù)字接口相連，克服了傳統(tǒng)壓阻式E+E壓力傳感器抗干擾性差的缺點。