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濺射薄膜式E+E壓力傳感器可靠性研究
濺射薄膜式E+E壓力傳感器具有*的耐惡劣環(huán)境性能,已成為中高壓力測量的主力傳感器,廣泛應(yīng)用于電力、機(jī)械、冶金、能源等領(lǐng)域的壓力測量。濺射薄膜式E+E壓力傳感器設(shè)計因素復(fù)雜,包含多種新型工藝,影響其可靠性的不確定因素眾多。

濺射薄膜式E+E壓力傳感器可靠性研究
因此,如何通過可靠性設(shè)計、分析、試驗對其可靠性進(jìn)行研究,是濺射薄膜式E+E壓力傳感器研究與應(yīng)用中的關(guān)鍵問題之一。針對濺射薄膜式E+E壓力傳感器的可靠性開展研究,建立傳感器可靠性綜合評價方法,分別從彈性膜片結(jié)構(gòu)、敏感芯片絕緣耐壓性能、傳感器靜電敏感性能三方面研究提高傳感器可靠性的技術(shù)途徑,為優(yōu)化傳感器的設(shè)計和工藝提供支持。主要研究內(nèi)容與成果如下：運用基于層次分析的模糊綜合評價方法實現(xiàn)傳感器可靠性的綜合評價,并通過分析找出影響傳感器可靠性的關(guān)鍵因素—彈性膜片結(jié)構(gòu)、敏感芯片絕緣耐壓性能、傳感器靜電敏感性能。對濺射薄膜式E+E壓力傳感器的敏感彈性膜片進(jìn)行理論分析和設(shè)計,并應(yīng)用有限元方法對膜片進(jìn)行應(yīng)力應(yīng)變分析,對膜片設(shè)計參數(shù)進(jìn)行驗證。利用正交試驗對敏感芯片絕緣膜的工藝參數(shù)進(jìn)行實驗研究,通過方差分析找出影響絕緣性能的顯著因子,在此基礎(chǔ)上對工藝參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,改善絕緣膜的鍍制工藝過程,提高敏感芯片的絕緣性能。針對濺射薄膜式E+E壓力傳感器的超差故障實例,利用故障樹分析和故障復(fù)現(xiàn)試驗確定故障原因,分析傳感器的靜電作用機(jī)理,并分別提出設(shè)計、制造、使用過程的靜電防護(hù)措施。綜上所述,針對濺射薄膜式E+E壓力傳感器的可靠性問題,系統(tǒng)研究傳感器可靠性綜合評價及優(yōu)化方法,對于我國濺射薄膜式E+E壓力傳感器的研究與應(yīng)用具有重要的理論與工程意義。